Système de pulvérisation magnétron en ligne
La machine de revêtement par pulvérisation magnétron en ligne est principalement en courant continu (ou MF). Le revêtement par pulvérisation magnétron peut être adapté à un large éventail de cibles, telles que : le cuivre, le titane, le chrome, l'acier inoxydable, le nickel et d'autres matériaux métalliques pouvant être revêtus à l'aide d'un processus de pulvérisation peut améliorer l'adhérence du film, la reproductibilité, la densité, l'uniformité et d'autres caractéristiques.
- un.Les caractéristiques et paramètres de base
- b.la structure de ligne horizontale peut être réalisée simultanément revêtue d'un côté
- c.efficacité de production, les vitesses les plus rapides jusqu'à 1 min / battement
- ré.conception modulaire, entretien facile
- e.maturité du processus de placage, rendement élevé
- F.Les cathodes de pulvérisation magnétron CC peuvent varier en fonction des exigences du client
- g.le système de vide se compose d'une pompe mécanique, de pompes Roots, de pompes à diffusion (pompe moléculaire) Composition
- h.La taille du corps de la ligne peut varier en fonction des exigences du client
- 1) Les matériaux du corps de la chambre à vide utilisés SUS304, polissant un traitement de la paroi de la chambre à vide, le traitement des perles de polissage par pulvérisation de la paroi extérieure.
- 2) L'utilisation d'un robinet-vanne indépendant entre la chambre à vide et la soupape à clapet à part peut efficacement couper et stabiliser le gaz de procédé.À l'heure actuelle, notre société adopte la conception de la vanne à clapet, elle scelle mieux, plus durable que la vanne à clapet commune actuelle.
- 3) La transmission utilise un guide magnétique, protège la stabilité du lecteur.Pour chaque vitesse de l'ensemble de la ligne de production utilisant le moteur d'entraînement VVVF, la vitesse de fonctionnement peut être ajustée.
- 4) Système de contrôle électrique : contrôle automatique de l'écran tactile et de l'automate, dialogue homme-machine pour réaliser le système d'affichage des données, les paramètres de fonctionnement et la technologie de contrôle
- 1) Pression de vide limite : 6 × 1 0E-4 Pa
- 2) le cycle de production moyen : selon le produit déterminé
- 3) La taille du porte-substrat : peut être personnalisée selon les exigences de
- 4) Uniformité du film : ± 3 % de la technologie de champ mobile avancée a considérablement amélioré l'utilisation de la cible
- La conception du réchauffeur segmenté est propice à l'optimisation du processus.
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