Ligne de pulvérisation magnétron en ligne miroir en aluminium
Brève description:
La ligne de pulvérisation magnétron en ligne pour miroir en aluminium est conçue pour un rendement élevé dans la fabrication de miroirs en verre.Afin de recouvrir un verre plus grand et de prendre soin des panneaux de verre fragiles, en particulier pour les feuilles de grande taille, nous fabriquons généralement une ligne de pulvérisation de type horizontal.Il s'agit d'une ligne de revêtement magnétron continue, avec la chambre de pompage brute avant et arrière, et après la chambre de transition, avant et après la chambre de pompage fin, une chambre tampon, une salle de placage de couleur.
La ligne de pulvérisation magnétron en ligne pour miroir en aluminium est généralement livrée avec plusieurs chambres à vide pour compléter le revêtement sous vide sur des feuilles de verre.
Caractéristiques principales:
Taille de revêtement 1.Max.glass: 2440x3660mm ou personnalisé
2. Des chambres multi-vide et une conception de chambre multi-pulvérisation sont disponibles
3. La ligne de commande magnétique horizontale a une structure à une extrémité et à deux extrémités;Le double nettoyage du verre, le revêtement, la détection, la peinture, le séchage, le refroidissement peuvent être terminés en même temps
4. La ligne de revêtement par pulvérisation cathodique utilise un API pour le contrôle de l'ensemble du processus et est équipée d'un écran couleur pour afficher les données du processus de revêtement
Couche de revêtements : Titane, Chrome, Inox, Aluminium, Argent, Cuivre, etc.
Composé : TiN, TiO2, etc.
Épaisseur de couche : 5-100 nm
Transmission : 8-40 % à des longueurs d'onde de 380-780 nm
Température de dépôt : température ambiante
Pression ultime après 8 h de pompage :
Chambre de sas d'entrée et chambre de sas sous vide : 5 × 10-1 Pa ou moins
Chambre tampon 1 : 3 × 10-3 Pa ou moins
Chambre de pulvérisation : 2 × 10-3 Pa ou moins
Chambre tampon 2 : 3 × 10-3 Pa ou moins
Chambre de sas de sortie et chambre de sas sous vide : 5 × 10-1 Pa ou moins