Ligne de pulvérisation magnétron en ligne miroir en aluminium
Caractéristiques principales
- La ligne de pulvérisation magnétron en ligne pour miroir en aluminium est généralement livrée avec plusieurs chambres à vide pour compléter le revêtement sous vide sur des feuilles de verre.
- Caractéristiques principales:
- Taille de revêtement 1.Max.glass: 2440x3660mm ou personnalisé
- 2. Des chambres multi-vide et une conception de chambre multi-pulvérisation sont disponibles
- 3. La ligne de commande magnétique horizontale a une structure à une extrémité et à deux extrémités;Le double nettoyage du verre, le revêtement, la détection, la peinture, le séchage, le refroidissement peuvent être terminés en même temps
- 4. La ligne de revêtement par pulvérisation cathodique utilise un API pour le contrôle de l'ensemble du processus et est équipée d'un écran couleur pour afficher les données du processus de revêtement
Couche de revêtements : Titane, Chrome, Inox, Aluminium, Argent, Cuivre, etc.
- Composé : TiN, TiO2, etc.
- Épaisseur de couche : 5-100 nm
- Transmission : 8-40 % à des longueurs d'onde de 380-780 nm
- Température de dépôt : température ambiante
- Pression ultime après 8 h de pompage :
- Chambre de sas d'entrée et chambre de sas sous vide : 5 × 10-1 Pa ou moins
- Chambre tampon 1 : 3 × 10-3 Pa ou moins
- Chambre de pulvérisation : 2 × 10-3 Pa ou moins
- Chambre tampon 2 : 3 × 10-3 Pa ou moins
- Chambre de sas de sortie et chambre de sas sous vide : 5 × 10-1 Pa ou moins
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