Système de pulvérisation en ligne
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Système de pulvérisation magnétron en ligne
Le système de pulvérisation magnétron en ligne est une sorte d'équipement de dépôt de couches minces sous vide qui fonctionne à des fins différentes.Les applications les plus courantes de notre ligne de pulvérisation comprennent :
Fabrication de miroirs en aluminium
- Revêtement de verre ITO
- Verre anti-reflet
- Revêtements décoratifs pour l'acier inoxydable et le verre
Ce système de revêtement convient aux applications de revêtement sous vide haut de gamme.Il produit des performances de travail stables pour améliorer la qualité des films de revêtement sous vide.
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Ligne de revêtement par pulvérisation magnétron de verre ITO
La ligne de revêtement par pulvérisation magnétron sur verre ITO adopte la technologie de pulvérisation magnétron sous vide et la technologie de pulvérisation magnétron déséquilibrée pour revêtir du verre flotté de haute qualité avec une couche de SO2/ITO.Basé sur le système de contrôle avancé international.L'ensemble du processus de fabrication fonctionne automatiquement et en continu.
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Ligne de pulvérisation magnétron en ligne miroir en aluminium
La ligne de pulvérisation magnétron en ligne pour miroir en aluminium est conçue pour un rendement élevé dans la fabrication de miroirs en verre.Afin de recouvrir un verre plus grand et de prendre soin des panneaux de verre fragiles, en particulier pour les feuilles de grande taille, nous fabriquons généralement une ligne de pulvérisation de type horizontal.Il s'agit d'une ligne de revêtement magnétron continue, avec la chambre de pompage brute avant et arrière, et après la chambre de transition, avant et après la chambre de pompage fin, une chambre tampon, une salle de placage de couleur.
Design cible : cathodes cylindriques de pulvérisation magnétron ou/et cathodes planaires.
Source d'alimentation: alimentation avec pulvérisation magnétron DC ou MF haute puissance
Système d'entraînement : entraînement à rouleaux, fréquence réglable, système d'ouverture de porte de chambre à induction.
Système de vide : pompe à diffusion (ou pompe turbo moléculaire) + pompe roots + pompe mécanique
