-Une/deux portes
Le cadre et la chambre sont en acier inoxydable au carbone.
Chaque porte offre une fenêtre d'inspection pour le contrôle visuel du processus.Les parois de la porte sont munies d'une doublure en acier inoxydable qui se retire facilement pour l'entretien.
-Chambre à vide personnalisée
La chambre fournit des doublures intérieures en acier inoxydable facilement amovibles pour le nettoyage.
Les pompes reposent sur sa partie arrière.
La chambre a une série de petites brides à des fins de mesure.
-Système de pompage à vide poussé
Pompe à diffusion+Pompe de gavage+Pompe mécanique
-Mesure et contrôle du vide
Avec jauge Pirani en métal + jauge d'ionisation en métal
-Système de déplacement des luminaires
-Unité de contrôle PLC
-Système d'évaporation en aluminium avec transformateur haute puissance
-Armature de fer
La structure est raisonnable
La couche de film est uniforme
Qualité filmogène
Vitesse de pompage élevée, cycle de travail court et efficacité de production élevée
Le fonctionnement est pratique
Faible consommation d'énergie et performances stables
Numéro de modèle | EV-1000 | EV-1200 | EV-1400 | EV-1800 | EV-2000 | Le modèle à deux portes ou à deux chambres est disponible | |
Dimension de la chambre à vide (diamètre*hauteur) | 1000*1100 | 1200*1400 | 1400*1600 | 1800*2000 | 2000*2200 | ||
Matériau de la chambre à vide | Acier au carbone, SUS304 ou SUS316L | ||||||
Technologie de travail | évaporation de résistance au vide avec des filaments de tungstène et d'aluminium, transformateur d'évaporation haute puissance | ||||||
Système de pompage | Pompe à diffusion+pompes mécaniques, pompe de surpression | ||||||
Temps de pompage | De l'atmosphère à 5.0*10-2Pa moins de 8 minutes | ||||||
Limite de vide | 5.0*10-4 Pa | ||||||
Température de fonctionnement | Température ambiante | ||||||
Mode travail | Mode automatique ou manuel, par 10,4 pouces PLC touche l'écran | ||||||
Pouvoir total | 40-80kW | 70-140kW | |||||
Empreinte | 2*2 mètres | 2*3 mètres | 3*3 mètres | 3*3 mètres | 3*4 mètres | 4*5 mètres | 5*6 mètres |
Ces unités peuvent être personnalisées | 1. Taille de la chambre à vide 2. Configurations des pompes | ||||||
Instruments optionnels | 1. Détecteur de fuite 3. Système de dépôt d'ions à l'arc 4. Système de pulvérisation Magntron |